Молекулярная вакуумная система FDS — сверхвысокий вакуум 6×10⁻⁶Па, скорость откачки >1600 л/с для полупроводниковых и плазменных технологий.

Молекулярная вакуумная система серии FDS обеспечивает сверхвысокий вакуум 6×10⁻⁶Па и скорость откачки >1600 л/с. Имеет конструкцию с двумя насосами (молекулярный + сухой насос). <Время запуска 5 минут, воздушное/водяное охлаждение. Идеально подходит для применения в полупроводниковой промышленности, плазменных технологиях и анализе поверхностей.