Система молекулярного вакуумного насоса FDS представляет собой сверхвысоковакуумное оборудование, которое последовательно использует молекулярный вакуумный насос и сухой вакуумный насос или двухступенчатый роторный лопастной вакуумный насос, оснащенный предварительным трубопроводом, вакуумными клапанами, мощностью молекулярного вакуумного насоса, блоком управления и композитным вакуумметром. Широко используется в поверхностном анализе, ускорительной технике, полупроводниковом оборудовании, плазменной технологии, производстве электровакуумных устройств и вакуумной технологии.