Система молекулярного вакуумного насоса FDS представляет собой оборудование для создания сверхвысокого вакуума, в котором последовательно используются молекулярный вакуумный насос и сухой вакуумный насос или двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос, а также предварительный трубопровод, вакуумные клапаны, источник питания молекулярного вакуумного насоса, блок управления и комбинированный вакуумметр. Широко применяется в анализе поверхностей, ускорительной технике, полупроводниковом оборудовании, плазменной технике, производстве электровакуумных устройств и вакуумной технике.

Технические характеристики