Вакуумная система с сухим (двойным) насосом FDS для молекулярного насоса

1495

Молекулярная вакуумная система FDS — сверхвысокий вакуум 6×10⁻⁶Па, скорость откачки >1600 л/с для полупроводниковых и плазменных технологий.

Молекулярная вакуумная система серии FDS обеспечивает сверхвысокий вакуум 6×10⁻⁶Па и скорость откачки >1600 л/с. Имеет конструкцию с двумя насосами (молекулярный + сухой насос). <Время запуска 5 минут, воздушное/водяное охлаждение. Идеально подходит для применения в полупроводниковой промышленности, плазменных технологиях и анализе поверхностей.

Поделиться с :

Новые продукты

Более

Вакуумный насос

①DPS Air-cooled Dry Compound Screw Vacuum Pump

First Air Cooled Dry Variable Pitch Screw Vacuum Pump

DPS dry compound screw vacuum pump is the innovation and development of AfaPa’s products, using the fifth generation of compound variable pitch screw technology (30% energy saving, low exhaust temperature), with high efficiency, energy saving, environmental protection, lightweight, easy operation, reliable performance characteristics. It will be main developing trend of the vacuum pump in future.

②DCP Dry Claw Vacuum Pump

DCP Vacuum Pump is a high cost-effective environmental protection vacuum pump by self-dependent innovation and develop,which base on numerous foreign vacuum pump.

③DPSB Dry Screw Vacuum Pump (System) with Box

DPSB dry screw vacuum pump(system) with box is a new type vacuum system, it is designed and developed as customer requirements, including vacuum pump, frequency conversion governor, digital display vacuum gauge, cooling fan, metal frame, metal plate and other related components.

Дополнительная информация

Система молекулярного вакуумного насоса FDS представляет собой оборудование для создания сверхвысокого вакуума, в котором последовательно используются молекулярный вакуумный насос и сухой вакуумный насос или двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос, а также предварительный трубопровод, вакуумные клапаны, источник питания молекулярного вакуумного насоса, блок управления и комбинированный вакуумметр. Широко применяется в анализе поверхностей, ускорительной технике, полупроводниковом оборудовании, плазменной технике, производстве электровакуумных устройств и вакуумной технике.

Технические характеристики

 

Модель
FDS600/20
FDS1200/40
FDS1600/80
Главный насос
F600/150
F1200/200
F1600/250
Опорный насос
DV16/30/DPS020
DV30/54/DPS050
DV54/90/DPS080
Скорость насоса (л/с)
>600
>1200
>1600
Максимальный вакуум (Па)
6×10(-6)
6×10(-6)
6×10(-6)
Впускной фланец
ДН150
ДН200
ДН250
Выходной фланец
КФ40
КФ40
КФ50
Напряжение (В/Гц)
220±20/50
220±20/50
220±20/50
Время начала (мин.)
<5
<5
<5
Метод охлаждения
Воздушное/водяное охлаждение
Воздушное/водяное охлаждение
водяное охлаждение
Вес (кг)
28
32
36
Онлайн-запрос
Если вас заинтересовала наша продукция и вы хотите узнать более подробную информацию, оставьте сообщение здесь, и мы ответим вам как можно скорее.
Представлять на рассмотрение

Горячие рекомендации

Дом

Продукция

О

Контакт