152 Wenxuan 3rd Road,Fengdong New Town,Xi'an,Shaanxi,China (710086
Молекулярная вакуумная система FDS — сверхвысокий вакуум 6×10⁻⁶Па, скорость откачки >1600 л/с для полупроводниковых и плазменных технологий.
Молекулярная вакуумная система серии FDS обеспечивает сверхвысокий вакуум 6×10⁻⁶Па и скорость откачки >1600 л/с. Имеет конструкцию с двумя насосами (молекулярный + сухой насос). <Время запуска 5 минут, воздушное/водяное охлаждение. Идеально подходит для применения в полупроводниковой промышленности, плазменных технологиях и анализе поверхностей.
Название компании :
Шанхайская компания по производству вакуумного оборудования AFAPA, Ltd.Brand :
AFAPA
Категории продуктовВакуумный насос
①DPS Air-cooled Dry Compound Screw Vacuum Pump
First Air Cooled Dry Variable Pitch Screw Vacuum Pump
DPS dry compound screw vacuum pump is the innovation and development of AfaPa’s products, using the fifth generation of compound variable pitch screw technology (30% energy saving, low exhaust temperature), with high efficiency, energy saving, environmental protection, lightweight, easy operation, reliable performance characteristics. It will be main developing trend of the vacuum pump in future.
②DCP Dry Claw Vacuum Pump
DCP Vacuum Pump is a high cost-effective environmental protection vacuum pump by self-dependent innovation and develop,which base on numerous foreign vacuum pump.
③DPSB Dry Screw Vacuum Pump (System) with Box
DPSB dry screw vacuum pump(system) with box is a new type vacuum system, it is designed and developed as customer requirements, including vacuum pump, frequency conversion governor, digital display vacuum gauge, cooling fan, metal frame, metal plate and other related components.
Система молекулярного вакуумного насоса FDS представляет собой оборудование для создания сверхвысокого вакуума, в котором последовательно используются молекулярный вакуумный насос и сухой вакуумный насос или двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос, а также предварительный трубопровод, вакуумные клапаны, источник питания молекулярного вакуумного насоса, блок управления и комбинированный вакуумметр. Широко применяется в анализе поверхностей, ускорительной технике, полупроводниковом оборудовании, плазменной технике, производстве электровакуумных устройств и вакуумной технике.
Технические характеристики
Модель | FDS600/20 | FDS1200/40 | FDS1600/80 |
Главный насос | F600/150 | F1200/200 | F1600/250 |
Опорный насос | DV16/30/DPS020 | DV30/54/DPS050 | DV54/90/DPS080 |
Скорость насоса (л/с) | >600 | >1200 | >1600 |
Максимальный вакуум (Па) | 6×10(-6) | 6×10(-6) | 6×10(-6) |
Впускной фланец | ДН150 | ДН200 | ДН250 |
Выходной фланец | КФ40 | КФ40 | КФ50 |
Напряжение (В/Гц) | 220±20/50 | 220±20/50 | 220±20/50 |
Время начала (мин.) | <5 | <5 | <5 |
Метод охлаждения | Воздушное/водяное охлаждение | Воздушное/водяное охлаждение | водяное охлаждение |
Вес (кг) | 28 | 32 | 36 |