Применение сухих вакуумных насосов весьма обширно, главным образом в следующих областях. Ниже я расскажу о сфере применения и сценариях использования сухих вакуумных насосов:
1) Низкотемпературное химическое осаждение из газовой фазы в процессе получения поликремния;
2) Процессы травления полупроводников. В этих производственных процессах часто используются или генерируются коррозионные газы и абразивные материалы;
3) Помимо полупроводниковых процессов, некоторые этапы процесса генерируют частицы, и нежелательно, чтобы эти частицы смешивались с насосным маслом. Предполагается, что частицы можно будет удалять из насоса, чего можно достичь с помощью некоторых типов сухих механических вакуумных насосов;
4) В химической, фармацевтической и пищевой промышленности для дистилляции, сушки, пеногашения, упаковки и предотвращения загрязнения органическими растворителями подходит для использования в сочетании с сухими вакуумными насосами;
5) Используется в качестве предварительного насоса в обычных безмасляных вакуумных системах уборки для предотвращения загрязнения маслом.