Применение сухих вакуумных насосов очень обширно, в основном в следующих аспектах. Ниже я представлю диапазон приложений и сценарии сухих вакуумных насосов:
1) химическое отложение паров низкого давления в процессе приготовления полисиликона;
2) Полупроводниковые процессы травления. Коррозионные газы и абразивы часто используются или генерируются в этих производственных процессах;
3) Помимо полупроводниковых процессов, некоторые шаги процесса генерируют частицы, и для этих частиц нежелательно смешивать с маслом насоса. Есть надежда, что частицы могут быть сброшены с насоса, что может быть достигнуто с помощью определенных типов сухих механических вакуумных насосов;
4) В химической промышленности, фармацевтической промышленности и пищевой промышленности, для дистилляции, сушки, обороты, упаковки и предотвращения загрязнения, вызванных органическими растворителями, он подходит для использования в сочетании с сухими вакуумными насосами;
5) Используется в качестве переднего вечера для обычных без масла чистящих вакуумных систем для предотвращения загрязнения масла.