В прошлой классификации нефтяные вакуумные насосы широко использовались в различных полупроводниковых процессах, а вакуумные насосы поршневого типа являются важными представителями. Более того, их проявление в различных приложениях не может быть источником гордости. Поэтому появились сухие вакуумные насосы. За последние годы было несколько различных примеров планирования и производства сухих вакуумных насосов, которые демонстрируют значительные различия в планировании макета машины. Из -за этих различий мы можем классифицировать сухие вакуумные насосы на следующие типы: круглый лезвие, тип когтя, тип комбинации (корни) и тип винта. В настоящее время эти примеры широко используются различными производителями. Круговые, когтя и комбинацию (корни) называются многоэтапными насосами. Поскольку их методы принципиально схожи, вакуум генерируется путем многократно сжатия газа в многостадийных вакуумных камерах. В процессе повторного сжатия температура и давление газа также могут претерпевать значительные изменения, что облегчает изменение физических свойств газа. Насосы винтового типа называются одностадийными насосами, потому что они могут только генерировать вакуум из вакуумной камеры. В зависимости от различных методов сжатия газа их можно разделить на винтные насосы внутреннего давления и винтные насосы внешнего давления. Вот несколько физических примеров этих дифференциальных насосов, с нетерпением ожидая предоставления их финансированием.

Двойная пиковая схема очень похожа на насос корней, который в настоящее время является наиболее популярным и широко используемым. На самом деле, самые ранние планы сухого насоса включали в себя сочетание насосов корней. Эта многоэтапная схема создает очень большой газовый путь, причем каждая стадия требует большей скорости потока азота для разбавления и отсечения. В то же время, чтобы достичь хорошего вакуума, требования к разрешению для всех этапов очень строгие. Конечно, эта процедура приводит к относительно низкому потреблению мощности из -за увеличения коэффициента внутреннего сжатия.

Принцип схемы с тремя лезвиями совершенно такой же, как и у двух лезвия схемы разделения. Он делит газ на три части вместо круглого лепестки, который состоит из двух копий. Конструкция кольца с тремя лезвиями и схема двойной круглой разделимости имеют сходные преимущества и недостатки. Чтобы еще больше уменьшить потребление энергии, некоторые производители выбирают два двигателя DC в отделе передачи, но это также может привести к уменьшению крутящего момента и снижению способности перезапуска. Так же, как и схема двойного кругового расщепления, каждая схема круговых лезвий с тремя сближениями требует большей скорости потока азота для эффектов разбавления.