В прошлом масляные вакуумные насосы широко использовались в различных полупроводниковых процессах, и поршневые вакуумные насосы являются важными представителями. Более того, их многообразие применений не может не вызывать гордости. Поэтому появились сухие вакуумные насосы. За последние годы появилось несколько различных примеров проектирования и производства сухих вакуумных насосов, которые демонстрируют значительные различия в компоновке оборудования. В связи с этими различиями мы можем разделить сухие вакуумные насосы на следующие типы: с круглыми лопастями, с когтями, комбинированного типа (с лопастями типа «корень») и винтового типа. В настоящее время эти типы широко используются различными производителями. Круглые, когтевые и комбинированные (с лопастями типа «корень») называются многоступенчатыми насосами. Поскольку их методы принципиально схожи, вакуум создается путем многократного сжатия газа в многоступенчатых вакуумных камерах. В процессе многократного сжатия температура и давление газа также могут претерпевать значительные изменения, что облегчает изменение физических свойств газа. Винтовые насосы называются одноступенчатыми насосами, поскольку они могут создавать вакуум только в вакуумной камере. В зависимости от различных методов сжатия газа их можно разделить на винтовые насосы внутреннего давления и винтовые насосы внешнего давления. Вот несколько физических примеров таких дифференциальных насосов, и мы надеемся получить финансирование для их разработки.

Схема с двумя пиками очень похожа на схему с насосом Рутса, который в настоящее время является наиболее популярным и широко используемым. Фактически, самые ранние схемы сухих насосов предполагали комбинирование насосов Рутса. Эта многоступенчатая схема создает очень большой газовый канал, причем каждая ступень требует большего расхода азота для разбавления и отсечки. В то же время, для достижения хорошего вакуума, требования к зазорам на всех ступенях очень строгие. Конечно, такая процедура приводит к относительно низкому энергопотреблению за счет увеличения степени внутреннего сжатия.

Принцип работы трехлопастной круговой схемы полностью совпадает с принципом работы двухлопастной разделительной схемы. Она разделяет газ на три части вместо круговой лепестковой формы, состоящей из двух экземпляров. Трехлопастная кольцевая конструкция и двухлопастная разделительная схема имеют схожие преимущества и недостатки. Для дальнейшего снижения энергопотребления некоторые производители выбирают два двигателя постоянного тока в трансмиссионном отсеке, но это также может привести к снижению крутящего момента и уменьшению возможности перезапуска. Как и в случае с двухлопастной разделительной схемой, каждая трехлопастная круговая схема требует большего расхода азота для достижения эффекта разбавления.