В прошлом масляные вакуумные насосы широко применялись в различных процессах полупроводниковой промышленности. поворотный лопастной Наиболее распространенными были поршневые вакуумные насосы. Однако во многих случаях их эффективность была неидеальной. В результате были разработаны сухие вакуумные насосы.

За прошедшие годы было разработано и изготовлено несколько типов сухих вакуумных насосов, существенно различающихся по механической конструкции. В зависимости от этих различий сухие вакуумные насосы можно разделить на следующие типы: кулачковые, кулачковые, гибридные (с кулачковым ротором) и винтовые. Эти конструкции в настоящее время широко используются различными производителями.

Круглые кулачковые, кулачковые и гибридные (роутс-кулачковые) насосы называются многоступенчатыми, поскольку их принцип работы схож: вакуум создаётся путём многократного сжатия газа через несколько вакуумных камер. В ходе этого процесса температура и давление газа значительно изменяются, что упрощает изменение его физических свойств.

Винтовые насосы называются одноступенчатыми, поскольку они создают вакуум, используя только одну вакуумную камеру. В зависимости от способа сжатия газа их можно разделить на винтовые насосы с внутренним и внешним сжатием. Ниже приведены некоторые примеры этих типов насосов для справки.

Двухкулачковая конструкция, аналогичная насосу Рутса, в настоящее время является наиболее популярной и широко применяемой. Фактически, самые ранние конструкции сухих насосов были основаны на комбинировании насосов Рутса. Такой многоступенчатый подход создаёт большой газовый тракт, требующий высокого расхода азота на каждой ступени для разбавления и герметизации. В то же время, для достижения хороших вакуумных характеристик требуется строгая герметизация на всех ступенях. Хотя такая конструкция обеспечивает относительно низкое энергопотребление, она также увеличивает внутреннюю степень сжатия.

Трехлепестковая круглая конструкция работает по тому же принципу, что и двухлепестковая, за исключением того, что она разделяет газ на три части вместо двух. Трехлепестковая конструкция имеет те же преимущества и недостатки, что и двухлепестковая версия. Для дальнейшего снижения энергопотребления некоторые производители используют два двигателя постоянного тока в приводной секции, но это может привести к снижению крутящего момента и возможности повторного запуска. Как и двухлепестковая конструкция, трехлепестковая круглая конструкция также требует высокого расхода азота для эффективного разбавления.