В прошлом вакуумные насосы с масляным уплотнением широко использовались в различных полупроводниковых процессах, наиболее распространенными были роторно-лопастные и поршневые вакуумные насосы. Однако их характеристики во многих областях применения были неидеальными. В результате, сухие вакуумные насосы были разработаны.

I. Введение: От вакуумных насосов с масляным уплотнением до сухих вакуумных насосов

1. Ограничения традиционных насосов с масляным уплотнением

Исторически сложилось так, что вакуумные насосы с масляным уплотнением (например, роторно-лопастные и поршневые) доминировали в полупроводниковой и промышленной отраслях. Однако во многих случаях их производительность оставляла желать лучшего — часто из-за загрязнения масла, необходимости технического обслуживания или неэффективности в конкретных областях применения.

2. Появление сухих вакуумных насосов

Для устранения этих недостатков были разработаны сухие вакуумные насосы. В отличие от моделей с масляным уплотнением, они работают без масляной смазки, что делает их подходящими для обеспечения чистоты и высокой производительности в современных отраслях промышленности.

II. Классификация Сухие вакуумные насосы посредством механической структуры

За прошедшие годы было разработано несколько типов сухих вакуумных насосов, значительно различающихся по механической конструкции. Основные категории включают:

• Круглолопастные насосы

• Коготьевые насосы

• Гибридные (когтевидные) насосы

• Винтовые насосы

Эти конструкции в настоящее время широко используются производителями в различных отраслях.

III. Принципы работы: многоступенчатые и одноступенчатые насосы

1. Многоступенчатые сухие вакуумные насосы

Круглолопастные, когтеобразные и гибридные (рутово-когтеобразные) насосы относятся к многоступенчатым насосам. Принципы их работы схожи:

Вакуум создается путем многократного сжатия газа в нескольких вакуумных камерах последовательно.

В процессе сжатия газ претерпевает значительные изменения температуры и давления, что может изменить его физические свойства (ключевой фактор для обеспечения совместимости с технологическим процессом).

2. Одноступенчатые сухие вакуумные насосы

Винтовые насосы — это одноступенчатые насосы, создающие вакуум с помощью всего одной вакуумной камеры. Они подразделяются в зависимости от методов сжатия газа:

• Винтовые насосы с внутренним сжатием

• Винтовые насосы с внешним сжатием

IV. Конструкция лепестков: двухлепестковая и трехлепестковая

1. Двухлепестковая конструкция (самый популярный вариант)

Двухлопастная конструкция, аналогичная насосу Рутса, в настоящее время является наиболее распространенной конструкцией сухого насоса. Ключевые особенности:

Основанная на сочетании технологии роторных насосов, она использует многоступенчатый подход для создания большого газового канала.

Для разбавления и герметизации на каждом этапе требуется высокая скорость потока азота.

Для обеспечения надлежащей вакуумной производительности на всех этапах требуется строгая герметизация.

Преимущества: Относительно низкое энергопотребление; Недостаток: Более высокая степень внутреннего сжатия.

2. Трехлепестковая круглая конструкция

Трехлепестковая конструкция работает по тому же принципу, что и двухлепестковая, но разделяет газ на три части вместо двух. Важные замечания:

Обладает схожими преимуществами (например, совместимостью с технологическим процессом) и недостатками (например, потребностью в азоте) с двухлопастной конструкцией.

Для снижения энергопотребления некоторые производители используют два двигателя постоянного тока в приводной секции, но это может снизить крутящий момент и способность к перезапуску.

Как и двухлопастная конструкция, она требует высокой скорости потока азота для эффективного разбавления газа.

Предупреждение: Данный веб-сайт уважает права интеллектуальной собственности. В случае обнаружения каких-либо нарушений, пожалуйста, своевременно свяжитесь с администрацией сайта для принятия соответствующих мер.