Хорошо известно, что примеси в сверхчистой воде могут оказывать ряд негативных воздействий на устройства! Поэтому определение процесса очистки воды для обеспечения качества воды, подаваемой на производственное оборудование, становится первостепенной задачей, которую необходимо решить при создании систем сверхчистой воды.

Система сверхчистой воды должна определяться качеством исходной воды и требованиями к качеству воды, предъявляемыми к оборудованию для производства интегральных схем. Система сверхчистой воды обычно состоит из следующих четырёх частей: система предварительной очистки, система первичной очистки воды, система сверхчистой воды и система рекуперации воды.

Целью предварительной очистки является удаление взвешенных веществ, коллоидов, полимерных органических веществ и других примесей, содержащихся в сырой воде. Следует отметить, что активированный уголь очень эффективен для удаления общего органического углерода (ООУ), но также может стать питательной средой для микроорганизмов. Поэтому при использовании установки предварительной очистки с активированным углем в системе предварительной очистки необходимо регулировать кислотность воды, поступающей в установку, для предотвращения размножения микроорганизмов.
　

В системе первичной очистки воды часто используют мембрану обратного осмоса (ОО). Недостатком этой мембраны является низкая устойчивость к окислению, а окисляющие вещества могут привести к разложению полимера мембраны. Активированный уголь хорошо удаляет остаточный хлор из воды и окисляющие вещества, такие как пероксид воды. Поэтому необходимо использовать блок очистки активированным углем в системе предварительной очистки системы сверхчистой воды для завода по производству интегральных схем. Целью системы первичной очистки воды является дальнейшая очистка сточных вод системы предварительной очистки. Типичными устройствами системы первичной очистки воды являются обратный осмос, смешанный ионный обмен, первичная мембранная дегазация, EDI (электрическая регенерация и опреснение), УФ (ультрафиолетовое облучение) и первичная полировка. Среди них обратный осмос и УФ дополнительно удаляют ООУ из системы очистки чистой воды. Смешанный ионный обмен может удалять как ООУ, так и SiO2 из системы очистки чистой воды. Мембранная дегазация использовалась для очистки растворенного кислорода в воде предварительной очистки. Для обработки ионов металлов используется смола высокой чистоты.

Система сверхчистой воды предназначена для удаления следов примесей, оставшихся в системе первичной очистки. Стоит отметить, что, хотя система сверхчистой воды удаляет все виды примесей из воды, важно обеспечить удаление загрязнений, вызванных материалами, из которых изготовлено оборудование. То есть, комплексная система сверхчистой воды должна не только иметь рациональный процесс производства воды, но и учитывать проблему микрорастворения на каждом этапе очистки. Кроме того, следует обратить внимание на способ транспортировки сверхчистой воды, выбор материалов трубопроводов и клапанов.

Для крупномасштабного оборудования для очистки интегральных схем требуется сверхчистая вода. Дренажная вода со всех точек использования оборудования может быть использована повторно. После рекуперации часть воды может быть направлена ​​в градирню и вытяжную колонну, а другая часть – в бассейн предварительной очистки для подготовки воды. В настоящее время степень рекуперации воды в реальных проектах достигает 70%. Для достижения хорошего эффекта от системы оборотной воды, помимо определения рационального процесса очистки, также очень важна сортировка и сбор дренажной воды производственным оборудованием, чтобы предотвратить попадание высокой концентрации общего органического углерода (ООУ) и других загрязнений в систему оборотной воды.