В прошлом вакуумные насосы с масляным уплотнением (важными представителями которых являются поршневые вакуумные насосы) широко использовались в различных полупроводниковых процессах. Однако их характеристики на практике были не идеальными.Для устранения недостатков вакуумных насосов с масляным уплотнением были разработаны сухие вакуумные насосы.

Различные сухие вакуумные насосы имеют существенные различия в конструкции механической части, что служит основой для их классификации.

 Конкретные типы

Они в основном делятся на четыре типа.

Круглолопастной тип, когтеобразный тип, комбинированный тип (корнево-когтеобразный тип) и винтовой тип. В настоящее время эти типы широко используются различными производителями.

К многоступенчатым насосам относятся лопастные, когтеобразные и комбинированные (корнево-когтеобразные). Они создают вакуум путем многократного сжатия газа в многоступенчатых вакуумных камерах. В процессе сжатия температура и давление газа значительно изменяются, что легко приводит к изменению физических свойств газа.

Категория одноступенчатых насосов

Винтовые насосы — это одноступенчатые насосы, которые создают вакуум только за счет одной вакуумной камеры. В зависимости от способа сжатия газа их можно разделить на винтовые насосы с внутренним сжатием и винтовые насосы с внешним сжатием.

а. Он очень похож на популярные и широко используемые в настоящее время насосы Рутса. Фактически, самая ранняя конструкция сухого насоса была разработана путем объединения насосов Рутса.

b. Используется многоступенчатая схема, что приводит к большому газовому каналу. На каждой ступени требуется относительно большой поток азота для разбавления и перекрытия потока газа. Для достижения хорошего вакуума ко всем ступеням предъявляются строгие требования к герметизации.

c. Его преимуществом является относительно низкое энергопотребление благодаря повышенной степени внутреннего сжатия.

Трехлепестковая круговая схема

а. Принцип его работы точно такой же, как и у схемы с двумя лепестками. Единственное отличие заключается в том, что он разделяет газ на три части (в то время как схема с двумя лепестками использует два круглых лепестка для разделения газа на две части).

b. Она имеет схожие преимущества и недостатки с двухлепестковой схемой с раздельным расположением лопастей. Для дальнейшего снижения энергопотребления некоторые производители используют два двигателя постоянного тока в трансмиссионной части, но это также приводит к снижению крутящего момента и возможности перезапуска.

c. Как и в случае двухлепестковой схемы с раздельным подачей воздуха, каждый насос с трехлепестковой круговой схемой требует большого потока азота для достижения эффекта разбавления.