В прошлом масляные вакуумные насосы (в частности, поршневые) широко применялись в различных процессах производства полупроводников. Однако их эксплуатационные характеристики на практике были далеки от идеала.Для устранения недостатков масляных вакуумных насосов были созданы сухие вакуумные насосы.

Различные сухие вакуумные насосы имеют существенные различия в конструкции своей механической части, что служит основой для классификации.

 Конкретные типы

Они в основном делятся на четыре типа

Круглолопастные, кулачковые, комбинированные (корневые и кулачковые) и винтовые. В настоящее время эти типы широко используются различными производителями.

К многоступенчатым относятся насосы круглокулачкового, кулачкового и комбинированного типа (корневой и кулачкового). Они создают вакуум путём многократного сжатия газа в многоступенчатых вакуумных камерах. В процессе сжатия температура и давление газа значительно изменяются, что легко приводит к изменению его физических свойств.

Категория одноступенчатых насосов

Винтовые насосы – это одноступенчатые насосы, способные создавать вакуум только за счёт одной вакуумной камеры. В зависимости от способа сжатия газа их можно разделить на винтовые насосы внутреннего и внешнего сжатия.

a.Он очень похож на популярные и широко используемые в настоящее время насосы Рутса. Фактически, самая ранняя конструкция сухого насоса была разработана путём объединения насосов Рутса.

b.Используется многоступенчатая схема, что приводит к большому газовому тракту. Каждая ступень требует относительно большого расхода азота для разбавления и отсечения газа. Для получения хорошего вакуума ко всем ступеням предъявляются строгие требования к герметизации.

в. Его преимуществом является сравнительно низкое энергопотребление за счет повышенной внутренней степени сжатия.

Трехлепестковая круговая схема

а.Его принцип действия полностью совпадает с принципом схемы с двумя лепестками. Разница лишь в том, что газ делится на три части (в то время как схема с двумя лепестками использует два круглых лепестка для разделения газа на две части).

b. Имеет те же преимущества и недостатки, что и схема с двумя лопастями. Для дальнейшего снижения энергопотребления некоторые производители используют два двигателя постоянного тока в трансмиссии, но это также приводит к снижению крутящего момента и возможности повторного запуска.

в.Как и в двухлопастной схеме разделения, каждому насосу с трехлопастной кольцевой схемой требуется большой поток азота для достижения эффекта разбавления.